EX-731型荧光X-Ray元素膜厚仪是一款专门用来测试各种元素厚度的一种**仪器。采用多能谱分析器,使用256高频分析器,光谱自动分析.*高可测量3层膜厚.
供应日本电测EX-731型荧光X-Ray元素厚度测量仪膜厚仪X-Y-Z轴可移动式测量台参数
测量台操作方式 |
手動 |
自動 |
||
测量行程 |
单位(mm) |
170 × 110 |
300 × 280 |
|
移動量 |
X(mm) |
70 |
80 |
|
Y(mm) |
70 |
60 |
||
Z(mm) |
80(測定物高*大150) |
50 |
||
測定物高(*大) |
80(150可?。?/span> |
50 |
||
外形(mm) |
600(W)×465(D)×730(H) |
|||
重量(kg) |
79 |
85 |
||
测量台载重(kg) |
3 |
1 |
||
電源 |
AC200V±10V |
供应日本电测EX-731型荧光X-Ray元素厚度测量仪膜厚仪技术参数
X線源 |
油浸式小型微焦点X線管 |
照射方式 |
上面垂直照射方式 |
検出器 |
比例計数管 |
准直孔 |
5種類(自動切換式) |
样品观察 |
CCD镜头 |
測定対象 |
原子番号22(Ti)~82(Pb) |
滤波器 |
(Co、Ni)自動切換 |
厚度测定范围 |
原子番号22~24:0.2~約20μm |
検量線 |
検量線自動作成 |
测量功能 |
単层膜厚測定 |
测量模式 |
自動测量 |
自動测量台功能 |
測定位置指定(X-Y-Z)
測定位置确认功能 |
数据処理機能 |
統計量表示:平均、標準偏差、*大、*小、方差、Cp、Cpk |